Course
最適な環境を多岐にわたり実現しています。
利用分野
ニッタのケミカルフィルタは、ニッタならではの技術によって、さまざまな分野で利用されています。半導体、液晶製造プロセスでの歩留まり向上、美術館・博物館での収蔵物のダメージダウンなど、幅広い分野に多種多様なケミカルフィルタを提供しお客様の活動に貢献しています。
導入プロセス
ニッタの豊富な経験と実績から最適なケミカルフィルタの選定、設計、製作を行い、間違いなく改善されるシステムを提供します。またケミカルフィルタの分析を行い将来の維持メンテナンス、運用などのアフターフォローまで幅広くサポートしていきます。
-
- 環境調査
- 実測データまたは予測データを元に環境を把握します。
-
- システム概要計画
- 処理後の濃度、寿命を設定、仮定し、処理システムの概要を計画します。
-
- ケミカルフィルタ選定
- 最適なケミカルフィルタの種類、数量を決めます。
-
- ケミカルフィルタ設計
- 最適なフィルタの仕様を設計します。特殊な場合はカスタマイズします。
-
- フィルタ周辺設計
- その他必要な機器類を設計します。
-
- 効果確認
- ケミカルフィルタを分析し効果確認、性能評価、寿命推定をします。
対象物質
ニッタのケミカルフィルタは、従来の様に、有機物質、アルカリ性物質、酸性物質を対象として、その種類、濃度、風量や設置環境によって、技術者が巧みに組み合わせ構築をしていきますが、対象物質を一括りにせず、選択的に除去をするタイプもラインナップしています。
酸性物質 | アルカリ性物質 | 有機物質 |
---|---|---|
窒素酸化物(NOx) | アンモニア | シロキサン |
硫黄酸化物(SOx) | N-メチルピロリドン | TMS |
硫化水素 | アミン類 | フタル酸エステル |
塩化水素 | リン酸エステル | |
フッ化水素 | イソ吉草酸 | |
硝酸 | ギ酸 | |
リン酸 | 酢酸 | |
ボロン | BHT | |
一酸化炭素 | HMDSO | |
オゾン | メチルメルカブタン | |
塩素 | エチレン | |
アルデヒド類 | 有機溶剤 |