ケミカルフィルタシステム設計

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ケミカルフィルタシステム設計

マイクロファンユニットVANBLUEバンブルー

厚さ(D):80mm・160mm、小型なのにパワフル!装置内・局所空間を微粒子レベルでクリーン化。省スペースにも対応します!

特徴

  • ロボット駆動部の発塵除去
  • 装置内の局所クリーン化
  • 精密部品加工装置内の複合ガス、微粒子除去
  • 省スペース設計で装置等への後付け可能

型式

TS-□□□-LG300-□□

仕様

フィルタ 風量 寸法 捕集効率 圧力損失 ガスケット フレーム
PTFE HEPA 0.07㎥/min 40mm×40㎜×80㎜
(ケミカル付:40㎜×40㎜×160㎜)
99.97%以上
(@0.3μm)
77Pa EPDM SUS304

※上記以外の寸法についても対応可能です。受注数量等の条件により、お客様の設置環境に合わせたサイズ・仕様変更をご提案します。


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