クリーンルーム
| 名称 | 主な用途 | 製品名(参考型式) |
|---|---|---|
| FFU関連製品 | FFU・薄型クリーンモジュール | GIGAPAC/ZMシリーズ |
| 小型FFU・薄型クリーンモジュール | MUU | |
| ケミカルフィルタ内蔵型FFU | CHEMIPAC | |
| FFU用HEPAフィルタ | Spleats(3□01) | |
| FFU用ULPAフィルタ | Spleats(3□41/3□42) | |
| FFU用低有機物・低ボロンHEPA・ULPA | Spleats(LB,LO,LL) | |
| FFU用ケミカルフィルタ | ギガソーブ(L,C,A,R) | |
| HEPA吹出口ユニット・クリーンファンユニット製品 | クリーンルーム用天井吹出口ケーシング | CAPシリーズ（CAP-Z-GS-※-SA) |
| 超薄型CAP(CAP-UA-※) | ||
| 天井吹出口ケーシング用HEPAフィルタ | エミレント(EH,EHD,EHS,EHFU,EHSL) | |
| CFU・低騒音メディカル用クリーンファンユニット | BSPシリーズ(BSP-Z-※-Fn) | |
| ファン付天井吹出口HEPAフィルタユニット | NRFシリーズ |
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| HEPA吹出口ユニット・ クリーンファンユニット製品 |
薄型ファン付クリーンファンユニット | CUULシリーズ(CUUL-9-※) |
| 縦型クリーンファンユニット | NWF-Vシリーズ |
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| クリーン機器 | クリーンブース | クリーンブース(CBN) |
| エアーシャワー | エアーシャワー(ASN) | |
| パスボックス | パスボックス(PBN) |