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| パーティクルカウンター（微粒子測定器）とは |
空気中には、目には見えない微小なゴミ（浮遊粒子）が無数に存在します。
クリーンルームは、この浮遊粒子の数を限りなく少なくコントロールされた部屋のことを言います。
しかしながら、クリーンルームにおいても浮遊粒子が「ゼロ」ではありません。
パーティクルカウンター（微粒子測定器）は、この浮遊粒子に光を照射し粒子からの散乱光をみることにより粒子の大きさや数を計測する測定器です。 |
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| パーティクルカウンター（微粒子測定器）の有効性 |
浮遊粒子は、いつまでも浮遊しているわけではなく、付着しようとします。
一旦付着した粒子の再飛散（剥離）は、一般に小さな粒子ほど非常に困難で洗浄などの工程が必要となります。
浮遊粒子を付着させないためには、粒子を浮遊させないことが必要です。
目視できない、予測が難しいからこそ、浮遊粒子の大きさ、数を測定し管理を行なうことが重要です。 |
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半導体工場向け超微粒子測定器から自動車工場などの粗大粒子測定器と幅広く取り揃えています。
光散乱方式の気中パーティクルカウンターです。
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クリーンルーム内の清浄度測定は、リアルタイムに常時監視するのが最も良い方法です。パーティクルカウンタ1台で最大32ポイント可能なシステムとパーティクルセンサをポイント毎に設置する常時監視システムがあります。
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液中パーティクルカウンタ
超純水に対応した液中パーティクルカウンタ。
Ultrapure-100（ANATEL）は超純水中0.1μm の微粒子を測定することができ、超純水中の微粒子を高精度に測定することができます。
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