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| クリーンルーム内の清浄度測定は、リアルタイムに常時監視するのが最も良い方法です。測定ポイント数、対象粒径とコスト等に応じ、流路切替え方式（FMS-M）とセンサをポイント毎に設置する常時測定方式（FMS-I）で提案します。 |
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| FMS-M（流路切替え方式）対応製品 |
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| AeroTrak 9110 |
計測粒径範囲： 0.1〜5.0μm
吸引流量： 28.3L/min |
半導体製造環境等のモニタリングの適した0.1μm微粒子測定器
日本語対応タッチパネル採用 |
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FMS-M（流路切替え方式）
マニホールドユニット |
測定粒径 0.1μmからシステム構築可能。
TSI社独自の流路切替え器とコントロールボックスを内蔵。 |
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専用ソフトウェア
FMS-5 |
ＦＭＳシステムの豊富な実績をもとに、データ収集、表示、分析、保存、レポート処理のニーズを集約したイーサーネット＆ＬＡＮ対応
Windowsベースのソフトウェア。 |
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| FMS-I（常時モニタリング方式）対応製品 |
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専用ソフトウェア
FMS-5 |
ＦＭＳシステムの豊富な実績をもとに、データ収集、表示、分析、保存、レポート処理のニーズを集約したイーサーネット＆ＬＡＮ対応
Windowsベースのソフトウェア。 |
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